Travaux pratiques de fabrication de transistors MOS s'effectuant dans la salle blanche du pôle CNFM-CIME de Grenoble. A l'issue de ces TPs, les étudiants ont réalisé sur des wafers 2" un jeu de transistors NMOS qu'ils caractérisent lors de la dernière séance afin d’en extraire les principaux paramètres SPICE (tension de seuil, paramètre de transconductance, mobilité des porteurs, résistances d’accès à la source et au drain…).
 

1. Disciplinaires

• Savoir respecter les règles de sécurité en salle blanche
• Savoir décrire le principe de fonctionnement des principaux équipements de fabrication de circuits intégrés
• Savoir décrire les principales étapes de fabrication d’un circuit intégré
• Savoir utiliser une table sous pointe et un analyseur de paramètres

2. Transversales

• Savoir rechercher des informations et faire preuve d’analyse critique
• Savoir planifier son travail en pleine autonomie et au sein d’un groupe